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3D超景深顯微鏡
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3D測量激光顯微鏡
3D測量激光顯微鏡

產(chǎn)品型號:OLS5000
發(fā)布時(shí)間:2020-12-16 15:34:47
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3D超景深顯微鏡-3D測量激光顯微鏡介紹

3D測量激光顯微鏡OLS5000,快速獲得可靠數(shù)據(jù)。

●亞微米3D觀察、測量。觀察納米范圍的臺(tái)階,并可測量亞微米級別的高度差。

●ISO25178-合規(guī)表面粗糙度測量。可測測量從線到面的表面粗糙度。

●非接觸,無損,并且快捷。無需制備樣品,您只需將樣品放在載物臺(tái)上即可測量。

OLS5000激光掃描顯微鏡的基本原理

●3D測量激光顯微鏡OLS5000配置了兩套光學(xué)系統(tǒng)(彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和濟(jì)鋼共焦光學(xué)系統(tǒng),如下圖)讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。

a、獲取彩色信息是指彩色成像光學(xué)系統(tǒng)使用利用白光LED光源和CMOS相機(jī)獲取彩色信息。

b、獲取3D高度信息和高分辨率共焦圖像。即激光共焦光學(xué)系統(tǒng)采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規(guī)則性。

●405納米激光光源

光學(xué)顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光(峰值550納米)的傳統(tǒng)顯微鏡具有更優(yōu)的橫向分辨率。3D測量激光顯微鏡OLS5000利用405納米短波長激光二極管獲得橫向分辨率。

●激光共焦光學(xué)系統(tǒng)

激光共焦光學(xué)系統(tǒng)僅接收通過圓形針孔聚焦的光線,并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊,讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像。

●X-Y掃描儀

3D測量激光顯微鏡OLS5000配有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)合,能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置,因而能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。

●高度測量原理

在測量高度時(shí),顯微鏡通過自動(dòng)移動(dòng)焦點(diǎn)位置獲取多個(gè)共焦圖像。

根據(jù)非連續(xù)的焦點(diǎn)位置(Z)和檢測光強(qiáng)度(I)可以估算每個(gè)像素的光強(qiáng)變化曲線(I-Z曲線),并獲得其峰值位置和峰值強(qiáng)度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規(guī)則性相對應(yīng),因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似,通過峰值強(qiáng)度數(shù)據(jù)可以獲得針對樣品表面所有位置焦點(diǎn)的圖像(擴(kuò)展圖像)。

選擇3D測量激光顯微鏡OLS5000的價(jià)值

●顯微鏡OLS5000的先進(jìn)技術(shù)使其能夠進(jìn)行高分辨率的3D樣品測量,捕捉任意表面形狀,

輸出可靠數(shù)據(jù)。

3D測量激光顯微鏡OLS5000采用專用LEXT物鏡,達(dá)到一致的測量值。

3D測量激光顯微鏡OLS5000采用4K掃描技術(shù),能捕捉陡峭斜面形狀。

3D測量激光顯微鏡OLS5000具有智能判別功能,可自動(dòng)獲取可靠數(shù)據(jù)。

●3D測量激光顯微鏡OLS5000的掃描算法可快速獲得可靠數(shù)據(jù)。即可提高數(shù)據(jù)質(zhì)量又可提高速度,從而縮短您的掃描時(shí)間,簡化您的工作流程,以提高生產(chǎn)力。

3D測量激光顯微鏡OLS5000采用PEAK算法,能快速、準(zhǔn)確的測量。

3D測量激光顯微鏡OLS5000采用跳躍式掃描,簡化測量,提升下來。

●3D測量激光顯微鏡OLS5000具有自動(dòng)數(shù)據(jù)采集功能,因而無需進(jìn)行復(fù)雜的設(shè)置調(diào)整。甚至生疏的用戶也可以獲得準(zhǔn)確的檢測結(jié)果,即只需放置樣品并按一下按鈕即可。

3D測量激光顯微鏡OLS5000采用智能掃描II技術(shù),具體操作如下;

步驟1:放置樣品,點(diǎn)擊“Start”,掃描完成。

步驟2:先選擇測量項(xiàng)目,然后指定測量區(qū)域,點(diǎn)擊報(bào)告按鈕,分析和報(bào)告即可完成。

步驟3:創(chuàng)建報(bào)告。即通過分析模板,減少重復(fù)測量的差異。

●低功率輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品制備(可測量具有挑戰(zhàn)性的樣品)。可以在不損壞易損性材料的情況下對其進(jìn)行測量。擴(kuò)展架可容納高達(dá)210毫米的樣品(如下圖1),而專用LEXT超長工作距離物鏡能夠測量深度大25毫米的凹坑(如下圖2)。在測量這兩類樣品時(shí),您只需將樣品放在載物臺(tái)上即可。

圖1

圖2

3D 測量激光顯微鏡OLS5000系列配置

3D 測量激光顯微鏡OLS5000-SAF

? 100毫米電動(dòng)載物臺(tái)

? 最大樣品高度:100毫米

3D 測量激光顯微鏡OLS5000-EAF

? 100毫米電動(dòng)載物臺(tái)

? 最大樣品高度:210毫米

3D 測量激光顯微鏡OLS5000-SMF

? 100毫米手動(dòng)載物臺(tái)

? 最大樣品高度:30毫米

3D 測量激光顯微鏡OLS5000-EMF

? 100毫米手動(dòng)載物臺(tái)

? 最大樣品高度:140毫米

3D 測量激光顯微鏡OLS5000-L AF

? 3 0 0 毫米電動(dòng)載物臺(tái)

? 最大樣品高度:37毫米

3D 測量激光顯微鏡OLS5000系列技術(shù)規(guī)格

主機(jī)規(guī)格

型號

OLS5000-SAF

OLS5000-SMF

OLS5000-LAF

OLS5000-EAF

OLS5000-EMF

總倍率

54x - 17,280x

視場直徑

16 μm - 5,120 μm


測量原理


光學(xué)系統(tǒng)

反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 反射式共焦激光掃描激光 -DIC 顯微鏡    彩色
 彩色 DIC

光接收元件

激光 :光電倍增管(2ch) 色彩 :CMOS 彩色相機(jī)



高度測量

顯示分辨率

0.5 納米

動(dòng)態(tài)范圍

16 位

可重復(fù)性      n-1 *1 *2 *6

20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x :    0.012 μm

精度 *1 *3 *6

測量值 +/- 1.5%

拼接圖像精度 *1 *4 *6

20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x :    7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm])

測量噪聲(SQ 噪聲)*1 *5    *6

1 納米


寬度測量

顯示分辨率

1 納米

可重復(fù)性 3     n-1 *1 *6

20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02    μm

精度 *1 *3 *6

測量值 +/- 1.5%

拼接圖像精度 *1 *3 *6

20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x :    7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm])

單次測量時(shí)測量點(diǎn)的最大數(shù)量

4096 x 4096 像素

測量點(diǎn)的最大數(shù)量

3600 萬像素


XY 載物臺(tái)配置

長度測量模塊

?

?

工作范圍

100 x 100 mm
 電動(dòng)

100 x 100 mm
 手動(dòng)

300 x 300 mm
 電動(dòng)

100 x 100 mm
 電動(dòng)

100 x 100 mm
 手動(dòng)

最大樣品高度

100 mm

30 mm

37 mm

210 mm

140 mm


激光光源

波長

405 nm

最大輸出

0.95 mW

激光分類

2 類    (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)

彩色光源

白光 LED

電氣功率

240 W

240 W

278 W

240 W

240 W

質(zhì)量

顯微鏡主體

約 31 公斤

約 30 公斤

約 50 公斤

約 43 公斤

約 39 公斤

控制箱

約 12 公斤

物鏡規(guī)格

系列型號數(shù)值孔徑(NA)

工作距離(WD)

(毫米)


UIS2 物鏡

MPLFLN2.5x

0.08

10.7

MPLFLN5x

0.15

20

LEXT 專用物鏡(10X)

MPLFLN10xLEXT

0.3

10.4


LEXT 專用物鏡(高性能型)

MPLAPON20xLEXT

0.6

1

MPLAPON50xLEXT

0.95

0.35

MPLAPON100xLEXT

0.95

0.35


LEXT 專用物鏡(長工作距離 型)

LMPLFLN20xLEXT

0.45

6.5

LMPLFLN50xLEXT

0.6

5

LMPLFLN100xLEXT

0.8

3.4


超長工作距離物鏡

SLMPLN20x

0.25

25

SLMPLN50x

0.35

18

SLMPLN100x

0.6

7.6


適用于 LCD 樣品的長工作距離 物鏡

LCPLFLN20xLCD

0.45

7.4-8.3

LCPLFLN50xLCD

0.7

3.0-2.2

LCPLFLN100xLCD

0.85

1.0-0.9

3D測量激光顯微鏡OLS5000應(yīng)用示例


汽車 / 金屬加工

內(nèi)部紋理 / 面粗糙度測量(MPLAPON20XLEXT / 3x3 拼接)

噴油嘴內(nèi)壁(復(fù)制品)/ 面粗糙度測量(MPLAPON20XLEXT)

活塞環(huán) / 面粗糙度測量(MPLAPON50XLEXT)

空氣過濾器(MPLAPON20XLEXT)

材料

不銹鋼腐蝕 / 深度測量(MPLAPON20XLEXT / 3x3 拼接)

銅板 / 面粗糙度測量(MPLAPON50XLEXT)

擴(kuò)散板 / 剖面測量(MPLAPON50XLEXT / 3x3 拼接)

海綿 / 剖面測量(MPLAPON20XLEXT / 3x3 拼接)

電子元件

金屬凸塊(Bump)/ 高度測量(MPLAPON20XLEXT)

MEMS 超聲波傳感器(MPLAPON50XLEXT)

光致抗蝕劑 / 高度測量(MPLAPON100XLEXT)

鍵合金線(MPLAPON100XLEXT)

其他

微針尖 / 剖面測量(MPLAPON50XLEXT / 6x6 拼接)

皮膚(復(fù)制品)/面粗糙度測量(MPLAPON20XLEXT /5x5 拼接)

由文化學(xué)園大學(xué)服裝學(xué)院功能設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)室提供

研磨石 / 輪廓測量(MPLAPON20XLEXT)

圓珠筆滾珠基座/ 面粗糙度測量(LMPLFLN20XLEXT)

以上是3D測量激光顯微鏡OLS5000的簡單介紹,想了解更多詳情,可繼續(xù)瀏覽3D測量激光顯微鏡OLS5000功能特點(diǎn),謝謝!

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